日韩久久久精品人妻久久,亚洲日韩欧美丁香在线观看首页观看 ,看黄色aa级视频

DM500蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)

主要技術參數(shù)：1. 真空室：φ500*H650mm；2. 最大可鍍工件直徑：φ400mm傘形樣品架；3. 極限真空度：優(yōu)于6*10-5Pa；4. 抽氣時間：大氣壓~6*10-4Pa小于30min；5. 蒸發(fā)：電阻式蒸發(fā)電極（6~8對）功率：2KW；配備3~4套數(shù)顯蒸發(fā)電源，其中一套電源可切換至2組電極；6. 開啟方式：正面開門結(jié)構(gòu)，便于換絲及裝料；7. 真空系統(tǒng)：機械泵+分子泵；8. 膜厚儀...

主要技術參數(shù)：

1. 真空室：φ500*H650mm；

2. 最大可鍍工件直徑：φ400mm傘形樣品架；

3. 極限真空度：優(yōu)于6*10-5Pa；

4. 抽氣時間：大氣壓~6*10-4Pa小于30min；

5. 蒸發(fā)：電阻式蒸發(fā)電極（6~8對）功率：2KW；配備3~4套數(shù)顯蒸發(fā)電源，其中一套電源可切換至2組電極；

6. 開啟方式：正面開門結(jié)構(gòu)，便于換絲及裝料；

7. 真空系統(tǒng)：機械泵+分子泵；

8. 膜厚儀：石英晶振膜厚儀膜厚儀，配水冷探頭一套；

9. 水冷系統(tǒng)：系統(tǒng)配備一套冷卻水循環(huán)系統(tǒng)。

系統(tǒng)主要配置說明

項目		規(guī)格及說明
真空室	蒸發(fā)真空室	φ500*H650mm，尺寸根據(jù)設計要求適當調(diào)整，側(cè)開門
	分子泵	分子泵1600L/S
	機械泵	BSV40 旋片泵，兼起預抽泵和前級泵作用
	擋板閥	DN40電磁擋板閥，預抽管道通斷
	截止閥	6mm雙卡套接口電動截止閥
	照明及烘烤裝置	選配
	各型法蘭及觀察窗	DN16、35、63、100、250
	不銹鋼管路、管接頭	各種規(guī)格精密不銹鋼管、波紋管、管接頭
真空測量與進氣	數(shù)顯復合真空計	5227復合真空計或進口全量程規(guī)管可選
	金屬裸規(guī)	ZJ52T，ZJ27 金屬接口
	管路及接頭	配閥門
	截止閥	6mm雙卡套接口電動截止閥
	進氣等控制接口	手動或電控
樣品架	轉(zhuǎn)動基片架	基片旋轉(zhuǎn)、基片架升降
	升降裝置	升降手動調(diào)整或電動升降
	基片加熱裝置	≤400℃ 加熱裝置選配
	溫控電源	日本島電溫控，PID控溫選配
蒸發(fā)系統(tǒng)	蒸發(fā)源	水冷蒸發(fā)源，可選3~4組
	蒸發(fā)電源	8-200A，3~4套
	高壓轟擊	等離子體清洗
	膜厚儀	石英晶振膜厚儀，可選膜厚控制儀，自動鍍膜
	設備機架	分體式布局
	水氣路系統(tǒng)	含冷卻水機
	控制系統(tǒng)	標配手動，可選觸摸屏自動控制