主要技術參數(shù)：
1. 真空室：φ500*H650mm；
2. 最大可鍍工件直徑：φ400mm傘形樣品架；
3. 極限真空度：優(yōu)于6*10-5Pa；
4. 抽氣時間：大氣壓~6*10-4Pa小于30min；
5. 蒸發(fā)：電阻式蒸發(fā)電極（6~8對） 功率：2KW；配備3~4套數(shù)顯蒸發(fā)電源，其中一套電源可切換至2組電極；
6. 開啟方式：正面開門結構，便于換絲及裝料；
7. 真空系統(tǒng)：機械泵+分子泵；
8. 膜厚儀：石英晶振膜厚儀膜厚儀 ，配水冷探頭一套；
9. 水冷系統(tǒng)：系統(tǒng)配備一套冷卻水循環(huán)系統(tǒng)。
系統(tǒng)主要配置說明
項目 | 規(guī)格及說明 | |
真空室 | 蒸發(fā)真空室 | φ500*H650mm，尺寸根據(jù)設計要求適當調整，側開門 |
分子泵 | 分子泵1600L/S | |
機械泵 | BSV40 旋片泵，兼起預抽泵和前級泵作用 | |
擋板閥 | DN40電磁擋板閥，預抽管道通斷 | |
截止閥 | 6mm雙卡套接口電動截止閥 | |
照明及烘烤裝置 | 選配 | |
各型法蘭及觀察窗 | DN16、35、63、100、250 | |
不銹鋼管路、管接頭 | 各種規(guī)格精密不銹鋼管、波紋管、管接頭 | |
真空測量與進氣 | 數(shù)顯復合真空計 | 5227復合真空計或進口全量程規(guī)管可選 |
金屬裸規(guī) | ZJ52T，ZJ27 金屬接口 | |
管路及接頭 | 配閥門 | |
截止閥 | 6mm雙卡套接口電動截止閥 | |
進氣等控制接口 | 手動或電控 | |
樣品架 | 轉動基片架 | 基片旋轉、基片架升降 |
升降裝置 | 升降手動調整或電動升降 | |
基片加熱裝置 | ≤400℃ 加熱裝置選配 | |
溫控電源 | 日本島電溫控，PID控溫選配 | |
蒸發(fā)系統(tǒng) | 蒸發(fā)源 | 水冷蒸發(fā)源，可選3~4組 |
蒸發(fā)電源 | 8-200A，3~4套 | |
高壓轟擊 | 等離子體清洗 | |
膜厚儀 | 石英晶振膜厚儀，可選膜厚控制儀，自動鍍膜 | |
設備機架 | 分體式布局 | |
水氣路系統(tǒng) | 含冷卻水機 | |
控制系統(tǒng) | 標配手動，可選觸摸屏自動控制 | |
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