鎢絲、鉬舟
電阻法是用高熔點金屬做成適當的形狀的加熱器，并將膜材料放在上面加熱，利用電流的熱效應使加熱器溫度達到材料蒸發的溫度，膜材料蒸發并淀積在基板上。
E型電子槍
用電子束法加熱將避免電阻法的缺點。電子束法是將熱發射的電子在電場的作用下，經磁聚焦后形成電子束打在加熱器（坩堝）內的膜材料上，膜材料在電子束的轟擊下蒸鍍到基板上，形成鍍膜。坩堝通常要水冷。此種方法適用于多種膜材料，尤其適用于高熔點的物質。
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