該小型鍍膜機具有結構緊湊且外觀簡潔大方，操作及保養容易且運行費用低廉。本裝置主機和電控系統采用一體化設計。其中主機由設備機架、泵抽系統和真空室等部分組成。鍍膜過程在濺射真空室內進行；電控部分采用標準控制機柜，內含各模塊化插箱，系統功能強大且性能穩定。
該超高真空磁控濺射鍍膜機的基本參數如下：
l 鍍膜室極限真空：≤6×10-5Pa；
l 抽氣時間：30 分鐘內優于 6×10-4Pa；
l 真空室尺寸：300×300×H350mm，真空室采用不銹鋼加工而成；
l 靶尺寸、數量：2 只 φ50mm 永磁靶；
l 靶基距可調（40~100mm,通過靶位調整）；
l 基片旋轉：0~60 轉/分可調；配加熱，最高可加熱至500度；
l 主機尺寸：約長 1100mm×寬 750mm×高 1650mm；
l 氣體種類： 2 路 MFC ，工作氣體 Ar+反應氣體；
l 膜厚測量：配備一套石英晶振膜厚儀及原裝探頭（選配）；
l 控制系統：采用觸摸屏+PLC 控制，控制包括泵、閥等啟停及各輸出報警等功能；
系統主要配置說明
項目 | 規格及說明 | |
真 空 室 | 濺射真空室 | 300×300×H350mm，尺寸根據設計要求適當調整，測開門 |
超高真空節流閥 | DN150,電動控制,可選自動恒壓功能 | |
分子泵 | 分子泵620L/S | |
機械泵 | BSV30旋片泵，兼起預抽泵和前級泵作用 | |
擋板閥 | DN40電磁擋板閥，預抽管道通斷 | |
截止閥 | 6mm雙卡套接口電動截止閥 | |
照明及烘烤裝置 | 烘烤選配 | |
各型法蘭及觀察窗 | DN16、35、63、100、150 | |
不銹鋼管路、管接頭 | 各種規格精密不銹鋼管、波紋管、管接頭 | |
真 空 測 量 與 進 氣 | 數顯復合真空計 | 5227復合真空計或進口全量程規管可選 |
金屬裸規 | ZJ52T，ZJ27 金屬接口 | |
質量流量控制器 | D07-7B質量流量控制器2套 量程50sccm和100sccm各一 | |
管路及接頭 | 配混氣室 | |
截止閥 | 6mm雙卡套接口電動截止閥 | |
進氣等控制接口 | 調壓閥電動控制，可反饋 | |
樣 品 架 | 轉動基片架 | 基片旋轉、基片架升降 |
升降裝置 | 升降手動調整，電動可選 | |
濺射基片加熱裝置 | ≤600℃ 加熱裝置選配 | |
溫控電源 | 日本島電溫控，PID控溫 | |
濺 射 系 統 | 磁控濺射靶 | 2組一體式濺射靶，可選2寸或3寸，帶擋板 |
濺射電源 | 500W直流和500W自動匹配射頻電源各一 | |
設備機架 | 一體式布局 | |
水氣路系統 | 含冷卻水機 | |
控制系統 | 標配手動，可選觸摸屏自動控制 | |
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