系統(tǒng)主要參數(shù)：
l 極限真空度：≤5×10-5Pa（清潔+烘烤去氣條件下12小時(shí)內(nèi)獲得）；
l 抽真空時(shí)間：40分鐘內(nèi)，≤5×10-4Pa；
l 基片加熱溫度：≤600℃（碘鎢燈加熱）；
l 基片尺寸：≤Φ3inch的圓片；
l 靶材尺寸：2寸或3寸；
l 靶數(shù)量：3只；
l 真空室尺寸：400×400×H380~450（根據(jù)實(shí)際情況可能會(huì)適當(dāng)調(diào)整）；
l 基片架移動(dòng)距離：≤50mm（軸向方向）；
l 靶軸線和基片旋轉(zhuǎn)軸線夾角：共濺射；
l 氣路系統(tǒng)：4路進(jìn)氣，其中1路為放氣使用；
系統(tǒng)主要配置說明
項(xiàng)目 | 規(guī)格及說明 | |
真 空 室 | 濺射真空室 | 400×400×H400mm，尺寸根據(jù)設(shè)計(jì)要求適當(dāng)調(diào)整，測(cè)開門 |
超高真空節(jié)流閥 | DN200,電動(dòng)控制,可選自動(dòng)恒壓功能 | |
分子泵 | 分子泵1200L/S | |
機(jī)械泵 | BSV30旋片泵，兼起預(yù)抽泵和前級(jí)泵作用 | |
擋板閥 | DN40電磁擋板閥，預(yù)抽管道通斷 | |
截止閥 | 6mm雙卡套接口電動(dòng)截止閥 | |
照明及烘烤裝置 | 烘烤選配 | |
各型法蘭及觀察窗 | DN16、35、63、100、200 | |
不銹鋼管路、管接頭 | 各種規(guī)格精密不銹鋼管、波紋管、管接頭 | |
真 空 測(cè) 量 與 進(jìn) 氣 | 數(shù)顯復(fù)合真空計(jì) | 5227復(fù)合真空計(jì)或進(jìn)口全量程規(guī)管可選 |
金屬裸規(guī) | ZJ52T，ZJ27 金屬接口 | |
質(zhì)量流量控制器 | D07-7B質(zhì)量流量控制器3套 | |
管路及接頭 | 配混氣室 | |
截止閥 | 6mm雙卡套接口電動(dòng)截止閥 | |
進(jìn)氣等控制接口 | 調(diào)壓閥電動(dòng)控制，可反饋 | |
樣 品 架 | 轉(zhuǎn)動(dòng)基片架 | 基片旋轉(zhuǎn)、基片架升降，基片偏壓可選 |
升降裝置 | 電動(dòng)升降，帶位置顯示 | |
濺射基片加熱裝置 | ≤600℃ 加熱裝置選配 | |
溫控電源 | 日本島電溫控，PID控溫 | |
濺 射 系 統(tǒng) | 磁控濺射靶 | 3組一體式濺射靶，可選2寸或3寸，帶擋板 |
濺射電源 | 2臺(tái)500W直流電源和1臺(tái)500W自動(dòng)匹配射頻電源 | |
設(shè)備機(jī)架 | 一體式布局 | |
水氣路系統(tǒng) | 含冷卻水機(jī) | |
控制系統(tǒng) | 標(biāo)配觸摸屏自動(dòng)控制 | |
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