系統主要參數：
l 極限真空度：≤5×10-5Pa（清潔+烘烤去氣條件下12小時內獲得）；
l 抽真空時間：40分鐘內，≤5×10-4Pa；
l 基片加熱溫度：≤600℃（碘鎢燈加熱）；
l 基片尺寸：≤Φ3inch的圓片；
l 靶材尺寸：2寸或3寸；
l 靶數量：4只；
l 真空室尺寸：500×500×H450（根據實際情況可能會適當調整）；
l 基片架移動距離：≤50mm（軸向方向）；
l 靶軸線和基片旋轉軸線夾角：共濺射；
l 氣路系統：4路進氣，其中1路為放氣使用；
系統主要配置說明
項目 | 規格及說明 | |
真 空 室 | 濺射真空室 | 500×500×H450mm，尺寸根據設計要求適當調整，測開門 |
超高真空節流閥 | DN250,電動控制,可選自動恒壓功能 | |
分子泵 | 分子泵1600L/S | |
機械泵 | BSV40旋片泵，兼起預抽泵和前級泵作用 | |
擋板閥 | DN40電磁擋板閥，預抽管道通斷 | |
截止閥 | 6mm雙卡套接口電動截止閥 | |
照明及烘烤裝置 | 烘烤選配 | |
各型法蘭及觀察窗 | DN16、35、63、100、200、250 | |
不銹鋼管路、管接頭 | 各種規格精密不銹鋼管、波紋管、管接頭 | |
真 空 測 量 與 進 氣 | 數顯復合真空計 | 5227復合真空計或進口全量程規管可選 |
金屬裸規 | ZJ52T，ZJ27 金屬接口 | |
質量流量控制器 | D07-7B質量流量控制器3套 | |
管路及接頭 | 配混氣室 | |
截止閥 | 6mm雙卡套接口電動截止閥 | |
進氣等控制接口 | 調壓閥電動控制，可反饋 | |
樣 品 架 | 轉動基片架 | 基片旋轉、基片架升降，基片偏壓可選 |
升降裝置 | 電動升降，帶位置顯示 | |
濺射基片加熱裝置 | ≤600℃ 加熱裝置選配 | |
溫控電源 | 日本島電溫控，PID控溫 | |
濺 射 系 統 | 磁控濺射靶 | 4組一體式濺射靶，可選2寸或3寸，帶擋板 |
濺射電源 | 2臺500W直流電源和2臺500W自動匹配射頻電源 | |
設備機架 | 分體式布局 | |
水氣路系統 | 含冷卻水機 | |
控制系統 | 標配觸摸屏自動控制 | |
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