該超高真空磁控濺射鍍膜機的基本參數如下：
l 鍍膜室極限真空：≤3×10-5Pa；
l 抽氣時間：30分鐘內優于8×10-4Pa；
l 真空室尺寸：450mm×H350mm，真空室采用不銹鋼加工而成，配玻璃觀察窗，側門可開啟；最大可鍍300×300mm方片；
l 靶尺寸、數量：2只70*350mm永磁靶。靶材尺寸：70×350×5mm；
l 靶基距可調（40~80mm）；
l 反濺清洗與偏壓：偏壓-800V，可滿足反濺清洗；
l 主機尺寸：長1060mm×寬600mm×高1600mm；（根據需要，尺寸會適當調整）
l 氣體種類：工作氣體Ar+反應氣體；
Copyright ? 2002-2021 合肥聚盛真空科技有限公司 版權所有 備案號：皖ICP備2022006065號-1
0551-68859919
