本設(shè)備是我公司研發(fā)用于真空蒸發(fā)鍍光學(xué)薄膜、有機(jī)物薄膜和金屬薄膜。特別適合于高科技企業(yè)、科研單位和高校用于膜層研究和膜系開(kāi)發(fā)。
主要技術(shù)參數(shù)：
1. 真空室：?220mm*H380mm；2. 最大可鍍工件直徑：60*60mm,配抽拉式樣品臺(tái)，樣品可旋轉(zhuǎn)；樣品臺(tái)配擋板；
3. 極限真空度：8*10-5Pa（分子泵系統(tǒng)）；4. 抽氣時(shí)間：大氣壓~6*10-4Pa小于30min（分子泵系統(tǒng)）；5. 蒸發(fā)源：可配備1~2組金屬或有機(jī)蒸發(fā)源；
6. 開(kāi)啟方式：正面開(kāi)門(mén)結(jié)構(gòu)，便于換絲及裝料；7. 真空系統(tǒng)：分子泵+機(jī)械泵；
8. 水冷循環(huán)系統(tǒng) 0.5P；
9. 控制系統(tǒng)可選手動(dòng)或觸摸屏自動(dòng)控制。
系統(tǒng)主要配置說(shuō)明
項(xiàng)目 | 規(guī)格及說(shuō)明 | |
真 空 室 | 蒸發(fā)真空室 | DN220*380，尺寸根據(jù)設(shè)計(jì)要求適當(dāng)調(diào)整，上蓋可開(kāi)啟，側(cè)開(kāi)門(mén) |
分子泵 | 分子泵110L/S或150L/S | |
機(jī)械泵 | DVR16 旋片泵，兼起預(yù)抽泵和前級(jí)泵作用 | |
擋板閥 | DN25電磁擋板閥，預(yù)抽管道通斷 | |
截止閥 | 6mm雙卡套接口電動(dòng)截止閥 | |
照明及烘烤裝置 | 選配 | |
各型法蘭及觀察窗 | DN16、35、63、100 | |
不銹鋼管路、管接頭 | 各種規(guī)格精密不銹鋼管、波紋管、管接頭 | |
真 空 測(cè) 量 與 進(jìn) 氣 | 數(shù)顯復(fù)合真空計(jì) | 5227復(fù)合真空計(jì)或進(jìn)口全量程規(guī)管可選 |
金屬裸規(guī) | ZJ52T，ZJ27 金屬接口 | |
管路及接頭 | 配混氣室 | |
截止閥 | 6mm雙卡套接口電動(dòng)截止閥 | |
進(jìn)氣等控制接口 | 手動(dòng)或電控 | |
樣 品 架 | 轉(zhuǎn)動(dòng)基片架 | 基片旋轉(zhuǎn)、基片架升降 |
升降裝置 | 升降手動(dòng)調(diào)整 | |
基片加熱裝置 | ≤600℃ 加熱裝置選配 | |
溫控電源 | 日本島電溫控，PID控溫選配 | |
蒸 發(fā) 系 統(tǒng) | 蒸發(fā)源 | 水冷蒸發(fā)源，可選1~2組 |
蒸發(fā)電源 | 8-200A | |
設(shè)備機(jī)架 | 一體式布局 | |
水氣路系統(tǒng) | 含冷卻水機(jī) | |
控制系統(tǒng) | 標(biāo)配手動(dòng)，可選觸摸屏自動(dòng)控制 | |
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